標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）；0～1，5、10，50，100，200，500，1000sccm；
　　準(zhǔn)精度：±1％F.S；   重復(fù)精度：±0.2%F.S
　　響應(yīng)時間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
　　線性：±（0.5～1）％F.S  工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　耐壓：3，10MPa；  工作環(huán)境溫度：5～65℃
　　輸入輸出信號電壓：0～+5.00V(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
　　電源：+15V500mA、-15V500mA電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
　　VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞........