標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
　　準(zhǔn)精度：±1％F.S；
　　重復(fù)精度：±0.2%F.S
　　響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec
　　氣特性＜1～4sec 氣體流量控制器線性：±（0.5～1）％F.S
　　工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　氣體流量控制器耐壓：3，10MPa；
　　工作環(huán)境溫度：5～45℃
　　輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V
　　電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
　　電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........